螺杆式无油干式机械真空泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮
合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的
螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽
内(柱形等螺距)进行传输运动，但无压缩，只有螺杆泵最末端的螺旋
结构对气体有压缩作用。螺杆泵的各级间可形成压力梯度，以分散压
差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设
计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境(
如抽除含粉尘气体等)等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。
泵是立式结构，进气口在上方，排气口在中部，下部为电机和
润滑油池。螺杆泵转子呈中空形，为悬臂支承结构。同步传动齿轮位
于轴承支座下面。变频电机通过联轴节与主动转子连接。泵的气体路径较短，且立式结构对排除含微尘气
体较为有利。螺杆泵外壳有水冷却，螺杆泵维修也便利。
这种类型的泵如果选用适当的较简单螺杆牙型截面，则制造简
单，可保证很高的加工精度，且容易动平衡。
